Poskytujeme vysoce přesná řešení CNC obrábění pro polovodičová zařízení, podporujeme kritické mechanické komponenty používané při zpracování plátků, kontrolních systémech, vakuovém prostředí a nástrojích pro výrobu polovodičů.
Naše obrábění se zaměřuje na ultra vysokou přesnost, integritu povrchu a dlouhodobou rozměrovou stabilitu, splňující přísné požadavky prostředí výroby polovodičů.
Typické obráběné díly pro polovodičová zařízení：
Komora a konstrukční prvky
- Pouzdro procesní komory
- Tělo vakuové komory
- Kryty a víka komor
- Konstrukční rámy a základny
Přesné funkční díly
- Vakuové desky / nástrojové desky
- Opěrné desky na oplatky
- Přesné montážní základny
- Vyrovnání referenčních štítků
Komponenty rozhraní a sestavy
- Příruby a těsnění
- Konektorové bloky
- Přesné distanční vložky a návleky
- Upevňovací a polohovací komponenty
Všechny díly jsou vyráběny tak, aby podporovaly vysokou čistotu, tepelnou stabilitu a opakovatelnou přesnost montáže.
Procesy obrábění:
- Vysoce přesné CNC frézování: Pro součásti komor, nástrojové desky a konstrukční díly vyžadující rovinnost a přesnost polohy.
- CNC soustružení a švýcarské soustružení：Použito na příruby, pouzdra, hřídele a válcové součásti s přísnými požadavky na soustřednost.
- Komplexní obrábění: Vzory s více otvory, hluboké dutiny, tenkostěnné struktury a geometrie s více daty, které se běžně vyskytují v polovodičových nástrojích.
Typické tolerance dosahují ±0,005 mm, s přísnější kontrolou aplikovanou na těsnicí povrchy, prvky vyrovnání a funkční rozhraní.
Klíčové aspekty obrábění polovodičových zařízení
Obrábění polovodičových zařízení vyžaduje zvláštní pozornost:
- Ultra vysoká rovinnost a rovnoběžnost pro nástroje a vakuové desky
- Kontrola tepelné deformace během obrábění a provozu
- Čistota povrchu, aby se zabránilo kontaminaci částicemi
- Kontrola stohování s přísnou tolerancí pro vícedílné sestavy
- Opakovatelnost procesu pro platformy dlouhodobého vybavení
Tyto faktory jsou rozhodující pro udržení přesnosti zařízení, stability výnosu a konzistenci procesu.
Kontrola a kontrola kvality
- Rozměrová kontrola CMM s úplnými zprávami
- Ověření rovinnosti, rovnoběžnosti a polohy otvoru
- Kontrola kritického rozhraní a těsnícího povrchu
- Sledovatelnost šarže a dokumentace procesu
Kontrolní postupy podporují opakovatelnou výrobu a nepřetržitý provoz zařízení.
Aplikace
Naše řešení pro obrábění polovodičů jsou široce používána v:
- Zařízení na zpracování oplatek
- Vakuové a depoziční systémy
- Nástroje pro kontrolu polovodičů
- Litografie a manipulační subsystémy
- Zařízení pro podporu výroby polovodičů
Proč si vybrat naše řešení pro obrábění polovodičů
✔ Prokázané zkušenosti s komponentami polovodičových zařízení
✔ Přesné obrábění pro čisté prostory a vakuové prostředí
✔ Stabilní sériová výroba a schopnost dlouhodobého zásobování
✔ Odborné znalosti v oblasti výroby polovodičů optimalizované pro SEO
