Při výrobě polovodičových destiček, zdrojích synchrotronového záření a průzkumu hlubokého vesmíru jsou prostředí ultravysokého vakua (UHV) základním kamenem provozu systému. Pro strojní inženýry je největší hrozbou pro prostředí UHV odplyňování. Malý pór materiálu nebo zbytkový olej ze zpracování mohou uvolnit molekuly dostatečně silné, aby narušily vakuum 10⁻⁹ Torr, což vede ke kontaminaci drahého polovodičového vybavení nebo selhání optických čoček.
Xavier, s dlouholetými zkušenostmi v oblasti přesných nestandardních součástí, rozumí přísným požadavkům prostředí UHV. Integrujeme špičkovou technologii 5osého obrábění s přísnými procesy kontroly materiálu, abychom zákazníkům OEM po celém světě poskytovali přesné součásti, které jsou skutečně vakuově šetrné.
1. Výběr materiálu a kontrola mikrostruktury
V UHV prostředí není vhodný veškerý hliník nebo nerezová ocel. Drobné póry a inkluze v materiálu jsou zdrojem odplynění. Před zakázkovým CNC frézováním provádí Xavier přísné dodavatelské audity surovin, přičemž upřednostňuje vysokohustotní hliník leteckého průmyslu nebo nerezovou ocel 316L a poskytuje kompletní dokumentaci Material Reporting (MTR), aby bylo zajištěno, že jejich fyzikální vlastnosti splňují standardy s nízkými emisemi.
2. Odstranění kontaminace způsobené obráběním:
Tradiční obráběcí procesy často používají řezné kapaliny obsahující síru, chlór a další prvky. Tyto chemikálie mohou pronikat mikropóry kovového povrchu a stát se trvalými zdroji uvolňování plynu. Xavierova řešení zahrnují:
• Řízení řezné kapaliny ve vakuové kvalitě: Používání snadno čistitelných syntetických chladicích kapalin s nízkým obsahem zbytků.
• Upínání bez rušení: Minimalizace použití přípravků, které mohou způsobit promáčknutí nebo zanesení nečistot při obrábění vysoce přesných sestav, což zajišťuje integritu povrchu.
3. Pětiosé obráběcí stroje:
Dvojí záruka tolerancí a přesnosti povrchu: Úspěch vakuového těsnění často závisí na přesnosti čela příruby a těsnicí drážky. Xavier... Využitím stability pětiosého CNC zařízení Makino zajišťujeme upnutí těsnící plochy v jediné operaci, čímž se eliminují chyby při stohování způsobené vícenásobnými upínacími operacemi.
U složitých švýcarských součástek můžeme řídit drsnost povrchu pod Ra 0,4 μm, čímž se výrazně sníží skutečný specifický povrch kovového povrchu, čímž se sníží množství molekul plynu adsorbovaného u zdroje.
4. Vyhrazené UHV následné zpracování a kontrola
Zpracováním to nekončí. Xavier má kompletní pracovní postup následného zpracování na stanici, včetně:
• Vícestupňové ultrazvukové čištění: Pomocí deionizované vody a speciálního odmašťovacího prostředku důkladně odstraníte stopová množství oleje z povrchu a slepých otvorů.
• Nedestruktivní testování: Využití našeho souřadnicového měřicího stroje Hexagon (CMM) pro 100% ověření rozměrů všech kritických vakuových spárovaných povrchů.
• Balení pro čisté prostory: Zákazníkům z oblasti polovodičů poskytujeme vakuové dvouvrstvé obaly, které splňují standardy pro čisté prostory a zajišťují, že tyto opracované hliníkové díly (Poznámka 5) zůstanou po příjezdu na místo zákazníka „nulové znečištění“.
Proč si vybrat Xaviera Xaviera jako svého UHV partnera?
Pro manažery nákupu v polovodičových a výzkumných institucích není hledání dodavatele jen o porovnávání cen, ale také o posouzení rizika. Certifikační systém Xavier AS9100 zajišťuje sledovatelnost v každé fázi procesu. Poskytujeme nejen díly, ale osvědčené vakuové řešení, které odolá testování pomocí analýzy zbytkových plynů (RGA).
Čelí váš projekt přísným požadavkům na vakuum? Kliknutím na webovou stránku kontaktujte inženýrský tým Xavier a my vám poskytneme profesionální rady DFM (Analýza výroby), které pomohou vašemu zařízení pro ultravysoké vakuum fungovat bezchybně.
